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光刻膠SPR955

簡要描述:光刻膠SPR955 MEGAPOSIT SPR955-CM系列光刻膠是一種通用的、高分辨率的i-Line光刻膠,可用于0.35µm的前端和后端應用。也與底層膠LOR/PMGI-SF搭配,做lift-off 工藝

  • 產品型號:SPR955-CM
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-08-04
  • 訪  問  量:222

詳細介紹

光刻膠 SPR 955系列

光刻膠SPR955產品介紹:

SPR 955-CM系列,正膠、紫外光刻膠。

光源推薦:i-Line。

單層厚度:0.7-3.5um。

光刻膠SPR955型號:

SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1

光刻膠SPR955應用:

MEGAPOSIT SPR955-CM系列光刻膠是一種通用的、高分辨率的i-Line光刻膠,可用于0.35µm的前端和后端應用。也與底層膠LOR/PMGI-SF搭配,做lift-off 工藝。

光刻膠SPR955特性:

● 高分辨率(undercut

● 在多晶硅實現高密度線條和空間,或者獨立線條。

● 在氮化鈦上實現高密度,高深寬比的線條和空間

● 在氧化硅上刻蝕密集孔

● 高深寬比的孔

● 靈敏度高


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